清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
電子探針（EMPA）1720是進行固態樣品表面形貌、結構觀察和微區成分分析測試的常規分析儀器,具有以下特點：
（1）分析區域很小，可完成小于1μm3區域的成分分析；
（2）分析元素范圍廣，可測 Be-U元素；
（3）不破壞樣品；
（4）可進行元素線掃描分析和面掃描分析；
（5）應用范圍廣，可測試各類固態樣品；
（6）分析快捷且成本較低。電子探針業已成為礦物學、巖石學、地球化學、礦床學、構造地質學、比較行星學和冶金材料科學等研究領域基礎的原位微束微區分析儀器。
可以實現礦物、巖石、材料等各類固體樣品的微區形貌和結構觀察、高精度的微區無損成分定量分析、高精度的元素線掃描和面掃描分析。
（1）固體物質表面微區元素定性、定量分析；
（2）固體物質表面圖像分析如：背散射圖像（BSE）、二次電子圖像（SE）；
（3）固體物質表面元素線分析；
（4）固體物質表面元素2D面分析；
上一篇 CP離子斷面拋光機
FIB-SEM電子顯微鏡 下一篇
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質譜儀
流變儀
