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技術參數：

1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm；2m (XY)（可選）；

2.掃描速度：最大20mm/s（x,y）；

3. XY雙向掃描平臺掃描最小步進/分辨率：1 μm；

4.平均曲率分辨率：2×10-5 1/m (1-sigma)；

5.中心曲率測量范圍：Minimum Concave: 2.0m，Minimum Convex: -2.0m;Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km;

6.應力測量精度：1% 或0.32MPa;

7.中心應力測量范圍：Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa；Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa

8.應力測量分辨：0.32MPa;

9.平均應力重復性：0.02MPa；

10.最大Bow測量高度：0.67mm；

11.Bow測量分辨率：30nm；

12.樣品holder兼容：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直徑樣品；

13.程序化控制掃描模式：選定區域、多點線性掃描、全面積掃描；

14.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應力成像分析；

15.測量功能：曲率、曲率半徑、應力強度、應力、Bow和翹曲等；

16.二維5*5激光陣列測量技術：不但可以對樣品表面進行二維曲率成像分析；而且這種設計始終保證所有陣列的激光光點始終在同一頻率運動或掃描，從而有效的避免了外界振動對測試結果的影響；同時大大提高了測試的分辨率；