清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
儀器型號：ChemStar
生產廠家：美國康塔儀器公司
儀器標簽
TPR. TPD TPO Pulse 金屬分散度，程序升溫反應 活性金屬表面積，微晶尺寸，活性位強度，酸/堿位分布，活化能、比表面積
儀器技術參數
1)反應爐為貝殼式設計，工作溫度范圍：室溫～1200℃，升溫速率：1～30℃
2)反應爐溫度測控方式：采用“床溫”和“爐溫”雙點測控方式
3)樣品溫度測控方式：獨立的溫度傳感測量與控制
4)氣體管路數：4 路載氣，4路處理氣，4路混合氣。各路氣體自動切換
5)管路材質和管徑：配置1/16 英寸的SS 316不銹鋼管路（降低死體積和峰擴散）和自動六通閥
6)管路加熱與溫度控制要求：儀器內部所有管線和控制閥門均可以加熱控溫，以防止蒸汽的凝結和滯留
7)MFC數量： 4個。可以實現自動氣體混合功能
8)氣體流速范圍：5～100 SCCM
9)檢測器類型：線性度良好的高靈敏熱導檢測器TCD
10)TCD的最大工作溫度：200℃
11)LOOP環：配置3種體積以上的LOOP環，最小體積5微升
12)蒸汽發生器: 配置軟件多點控溫蒸汽發生器
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