清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
Renishaw inVia拉曼光譜
儀器參數：
激光波長：473nm、532nm、632.8nm、785nm
光譜分辨率：≤0.025nm 光譜重復性：≤±0.5px-1 靈敏度：Si三階峰信噪比好于30:1
拉曼Mapping空間分辨率：橫向約1μm，縱向約2μm
原位拉曼溫度范圍：液氮溫度~600℃ 或 室溫~1500℃
應用范圍：
1. 對粉末、塊體、液體等樣品進行微區拉曼光譜測量，還可進行熒光光譜測量（473nm~1000nm）；
2. 可進行分散的多點、線、面掃描和共焦深度掃描，檢測樣品的成分分布、應力分布等；
3. 可進行溫場原位拉曼光譜測量；
4. 可進行偏振拉曼光譜測量；
5. 可與原子力顯微鏡聯用，同時獲得樣品的形貌和成分信息，可以做針尖增強拉曼散射（TERS）。
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質譜儀
流變儀
