清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
FUTURE三坐標測量機
獨特小孔節流式空氣軸承的氣墊設計,三軸導軌均為花崗巖材料結構件,大大減少了環境對測量機的影響。三軸均采用齒形帶傳動和無摩擦氣浮導軌,使得各軸運動平穩精確,適合多種測量場合。
機型的特點
■工作臺固定,采用橋式移動結構;
■三軸導軌均為花崗巖材料結構件,具有膨脹系數低
變形小的特點,大大減少了環境對測量機的影響
■三軸均采用齒形帶傳動,使得各軸運動平穩精確;
■三軸均為無摩擦氣浮導軌;
■獨特小孔節流式空氣軸承的氣墊設計,其性能穩定、
承載能力強,從而保證各向導軌的承載和導向精度,
確保整機運動的剛性和測量空間的精度;
■獨特的平衡氣缸設計,使Z軸上下運動時阻力大大減
小,提高了運動平穩性,從而保證了測量精度;
■開放式Z軸結構使安裝維護更方便
模塊化設計可滿足用戶特殊定制要求
可選配溫度補償系統。
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質譜儀
流變儀
