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半導體外延檢測

儀器功能:測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要參數

儀器參數：變溫，常溫和液氮溫度(77K)下測量;

阻抗:10-6 - 107

載流子濃度(cm3):107 - 1021

樣品夾具：彈簧樣品夾具(免去制作霍爾樣品的麻煩)；

測量材料：所有半導體材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP

儀器尺寸：260*220*180 mm


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